柳百新，材料科学家。出生于上海,原籍江苏武进。1961年毕业于清华大学工程物理系。清华大学材料科学与工程系教授。长期在载能离子束与材料的作用及改性、薄膜材料和核材料等领域从事研究工作。以金属多层膜离子束混合为实验手段研究亚稳合金相的形成与相变,提出二元金属系统中非晶态合金形成的经验模型，建立相应的热力学模型，提出从原子互作用势计算玻璃形成能力，并从第一性原理计算亚稳合金相的稳定性。提出用离子束辐照研究非晶态合金相变临界现象的思想，发现固体薄膜中分形生长的新现象。在氮离子注入研究中，阐明了金属氮化物形成的热力学和生长动力学规律，发展出强流金属离子注入在硅表面合成金属硅化物的新技术。用实验论证了生成热为正的系统中,多层膜中的界面能有可能驱动固态非晶化反应，提出相应的理论判据，并用分子动力学模拟揭示了界面反应的原子运动机制。
2001年当选为中国科学院院士。